国产精品多人p群无码-国产精品高潮呻吟av久久4虎-国产精品高潮呻吟av久久无吗-国产精品国产精品国产专区不卡-国产精品国产三级国产aⅴ下载-国产精品国产三级国产av麻豆

您好!歡迎訪問蘇州三清儀器有限公司網(wǎng)站!
全國服務(wù)咨詢熱線:

18051800051

當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 電熱真空干燥箱 > 真空充氮烘箱 > HMDS真空干燥箱/三清儀器定制

HMDS真空干燥箱/三清儀器定制

簡要描述:HMDS真空烘箱/非標(biāo)定制半導(dǎo)體業(yè)真空烘干箱。承接非標(biāo)定制。HMDS真空干燥箱/三清儀器定制

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2023-11-19
  • 訪  問  量:2489

詳細(xì)介紹

品牌SOODKING/三清儀器產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,電子

HMDS真空烘箱產(chǎn)品性能特點:

HMDS真空干燥箱/三清儀器定制

1)設(shè)備外殼采用醫(yī)用級不銹鋼316L不銹鋼材質(zhì)制作,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內(nèi)膽外壁,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置;采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實驗情況。
2)箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)保持高真空度。
3) 采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動控溫,定時,超溫報警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩(wěn)定,
智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。

5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,使真空箱密封性能*,確保HMDS氣體無外漏顧慮。
6)整個系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)醫(yī)用級316L不銹鋼材料制作,無發(fā)塵材料,適用百級光刻間凈化環(huán)境。

HMDS真空干燥箱/三清儀器定制

HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的原理:
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程:
首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到某低真空度后,再次進(jìn)行抽真空、充入氮氣的過程,到達(dá)設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達(dá)設(shè)定時間后,停止充入HMDS藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應(yīng),在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(*基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。

定制:

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
蘇州三清儀器有限公司
地址:江蘇省蘇州市常熟市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園珠海路2號
郵箱:soodking@qq.com
傳真:86-0512-52994109
關(guān)注我們
歡迎您加我微信了解更多信息:
歡迎您加我微信
了解更多信息